- ■ サイクロトロンイオン注入装置
３軸ロボットを操作しウェハを放射線注入位置へ搬送後、照射位置にて放射線照射を規定電流値まで照射。
完了したウェハを工程完了エリアへ搬送するシステム。
株式会社 デジタルピア
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TEL:03-6417-4298/FAX:03-6417-4299
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